Verfahren mit gasförmigen Medien

Atmosphären-Plasmen lassen sich auf unterschiedliche Art erzeugen, z.B. flächig durch dielektrisch behinderte Entladung (DBD), Mikrowellenanregung oder durch beschleunigte Elektronen oder lokal als Plasmajet mit DBD (kalt) oder Bogenentladung (heiß). Je nach verwendetem Prozessgas werden dünne flüssige oder feste Verunreinigungen plasmachemisch in Gase umgewandelt, die anschließend abgesaugt werden können. Neben der Reinigungswirkung werden Plasmaverfahren auch zur Desinfektion und Oberflächenfunktionalisierung verwendet.

Die Heißdampf-Reinigung nutzt überhitzten Wasserdampf (z.T. auch als Trockendampf bezeichnet), um Verunreinigungen, Fette oder Biofilme von Oberflächen zu entfernen. Der Dampf löst Verunreinigungen durch eine Kombination aus thermischer Wirkung (organische Verunreinigungen werden dünnflüssiger) und mechanischer Wirkung (hohe Strömungsgeschwindigkeit des Dampfs) und tötet Keime durch Hitze ab. Dieses Verfahren wird u.a. in der Lebensmittel- und Pharmaindustrie eingesetzt.

Im Gegensatz zur lokal wirkenden Atmosphärendruck-Plasmareinigung erfolgt hier die Ionisation des Prozessgases bei sehr niedrigen Drücken im kompletten Volumen einer Prozesskammer durch eine elektrische hochfrequente Entladung. Dadurch kann die gesamte Oberfläche von Schüttgütern oder komplex geformten Bauteilen gleichzeitig behandelt werden. Das Verfahren ist präzise, durch die Kapselung des Prozessraumes auch bei kritischen Prozessgasen umweltfreundlich und ideal für empfindliche Bauteile. Dieses Verfahren findet u.a. Anwendung in der Mikroelektronik und Medizin.