Plasmaverfahren

Die Plasmatechnik ist heute eines der wichtigsten Werkzeuge zur Herstellung hochwertiger dünner Schichten und folglich Schlüssel für innovative Oberflächen oder neue Produkte. So setzen wir am Fraunhofer IGB insbesondere Plasmaprozesse für die Behandlung von Oberflächen ein. Die zum Einsatz kommenden Plasmen sind so genannte Niedertemperatur-Plasmen im Gasdruckbereich vom Feinvakuum bis hin zu Subatmosphärendruck. Verwendung solcher Plasmen ermöglicht uns eine schonende und kontrollierte Prozessführung.

Mit diesen Techniken können wir Oberflächen abtragen (z. B. reinigen) oder auch chemische Funktionen aufbringen (Funktionalisierung). Es können auch dünne Schichten aufpolymerisiert werden (z. B. Kratzschutzschichten). Die individuelle Einstellung von Gaszusammensetzung, Energieeintrag und weiteren Prozessparametern ermöglicht ein breites Spektrum chemischer, physikalischer und biologischer Oberflächenmodifikationen.

Wir bieten Ihnen die Entwicklung eines vollständigen Prozesses – von der Schicht, über die Verfahrensentwicklung und Aufskalierung bis zur Musterbeschichtung.